精密离子减薄仪 Gatan PIPS691型_材料组织结构分析室_仪器设备_仪器设备_南昌航空大学分析测试中心
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精密离子减薄仪 Gatan PIPS691型


功能介绍

精密离子减薄仪为整套TEM样品制备的最后一道工序,经氩离子减薄的样品可在TEM 下直接观察。

可制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样(包括截面样品)

 

主要特点

1、离子减薄是通过两个微型可调角度的Penning离子枪,每个枪的角度变化为±10°,且相互独立,在可以调节的角度范围内精确会聚到样品上;

2、离子枪装有强的稀土元素磁体,从而可能达到高效的减薄速率。每个枪都安装在一种通用的接头上,从而通过x和z对中,使离子束在样品上精确对中,通过变换角度、强束、定点这些特性,可以实现在非常小的角度下减薄样品,使样品得到的薄区很大。而且减薄时间很短,效率高;

3、采用聚焦离子束制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样(包括截面样品),薄区面积大、损伤小。

 

主要技术参数

双离子枪
最大研磨角:± 10°
离子束能量:1.5~6 keV
真空度:5 ′10-6 Torr



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