功能介绍

精密离子减薄仪为整套TEM样品制备的最后一道工序，经氩离子减薄的样品可在TEM 下直接观察。

可制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样（包括截面样品）

主要特点

1、离子减薄是通过两个微型可调角度的Penning离子枪，每个枪的角度变化为±10°，且相互独立，在可以调节的角度范围内精确会聚到样品上；

2、离子枪装有强的稀土元素磁体，从而可能达到高效的减薄速率。每个枪都安装在一种通用的接头上，从而通过x和z对中，使离子束在样品上精确对中，通过变换角度、强束、定点这些特性，可以实现在非常小的角度下减薄样品，使样品得到的薄区很大。而且减薄时间很短，效率高；

3、采用聚焦离子束制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样（包括截面样品），薄区面积大、损伤小。

主要技术参数

双离子枪
最大研磨角：± 10°
离子束能量：1.5~6 keV
真空度：5 ′10-6 Torr